無塵室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵車間(jiān)、潔淨室、淨化室或清淨室。它是汙染控製的基(jī)礎。控製空氣懸浮微(wēi)粒濃度,從而達到適當的微粒潔淨度級別。無塵室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細···
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